Lamtech平面度測量儀廣泛用于測量導(dǎo)軌的直線性、精密平板的平面度、基面之間的垂直度和平行度、精密軸系的晃動誤差等；同時還可以來測量各種棱鏡的角度差和平鏡的平行差以及測量檢驗各種棱鏡、平鏡與裝配基準(zhǔn)面之間的角度誤差。該儀器主要用于小角度的精密測量，如多面棱體的檢定。也可測量高精度導(dǎo)軌等精密零件的直線性、平行性、垂直性及相對位置。
Lamtech平面度測量儀的用法是平晶干涉法，用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值，但主要于測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規(guī)的工作面，光學(xué)透鏡。激光干涉儀現(xiàn)因其體積小，重量輕、無需外接電源的特點(diǎn)被廣泛地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)，光學(xué)檢測機(jī)構(gòu)以及其他要進(jìn)行光學(xué)表面檢測的場合。在機(jī)械行業(yè)和儀表制造中,用于測量相對于水平位置的傾斜角、機(jī)床類設(shè)備導(dǎo)軌的平面度和直線度、設(shè)備安裝的水平位置和垂直位置等。按水平儀的外形不同可分為：框式水平儀和尺式水平儀兩種；按水準(zhǔn)器的固定方式又可分為：可調(diào)式水平儀和不可調(diào)式水平儀。
Lamtech平面度測量儀打表測量法是將被測零件和測微計放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測量基準(zhǔn)面，用測微計沿實際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測量。打表測量法按評定基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對角線法：三點(diǎn)法是用被測實際表面上相距最遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評定基準(zhǔn)面，實測時先將被測實際表面上相距最遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高；對角線法實測時先將實際表面上的四個角點(diǎn)按對角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測微計進(jìn)行測量，測微計在整個實際表面上測得的最大變動量即為該實際表面的平面度誤差。